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陶瓷机械手臂

陶瓷手臂具有耐高温、耐腐蚀、耐磨、绝缘等性能,可长期在高温、真空以及具腐蚀性的气体环境中使用,广泛应用于各种半导体生产设备。

我公司生产的陶瓷手臂选用高纯度陶瓷原料,经冷等静压成型、高温烧结和精密加工而成,尺寸精度可达±0.001mm,光洁度可达Ra0.1,使用温度最高可达1600℃。我公司采用独特的陶瓷粘结技术,经粘结后的中空陶瓷手臂使用温度最高可达800℃。

可选用的材料有:氧化铝、氧化锆、碳化硅、以及防静电陶瓷材料。

产品列表

  • 陶瓷机械手臂
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